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浩赫淺析電子行業(yè)生產(chǎn)車(chē)間廢氣處理法
來(lái)源:www.bjjgm.com 發(fā)布時(shí)間:2023年06月06日

電子工業(yè)從產(chǎn)品來(lái)分的話,自上而下可以分為電子整機(jī)產(chǎn)品和電子基礎(chǔ)產(chǎn)品,還有電子材料等三個(gè)部分,其中包含有:光電器件、半導(dǎo)體器件、電子元件及電子終端產(chǎn)品等方面。電子廠廢氣的主要來(lái)源是對(duì)電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節(jié)所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節(jié)所用有機(jī)溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見(jiàn)的種類(lèi)有:異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯和氯方等。


2、吸附法(活性炭):投資小、工藝簡(jiǎn)單,易飽和,需要與脫附、冷凝、焚燒等方法聯(lián)用才能滿(mǎn)足排放要求;

3、冷凝法:與吸收、吸附等方法聯(lián)用,將有機(jī)廢氣吸附濃縮后冷凝、分離,回收其中有價(jià)值的有機(jī)物。此法適用濃度高、風(fēng)量小的有機(jī)廢氣處理場(chǎng)合。缺點(diǎn)是:投資、能耗、運(yùn)行費(fèi)用高,冷凝回收物提純處理后,仍有相當(dāng)部分液態(tài)廢棄物需要進(jìn)一步處理。該方案與生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)工藝存在匹配關(guān)系,偏離這種匹配關(guān)系將提高治理成本,影響治理效果;

4、沸石轉(zhuǎn)輪濃縮+焚燒法:沸石轉(zhuǎn)輪濃縮設(shè)備基本依靠進(jìn)口,自主產(chǎn)品尚不成熟。該方案同樣與生產(chǎn)設(shè)備、生產(chǎn)工藝存在匹配關(guān)系;

5、光催化氧化法:采用C波段(僅次于切割不銹鋼的激光,強(qiáng)于氬弧焊光源的數(shù)十倍強(qiáng)度)在設(shè)備內(nèi),強(qiáng)裂解惡臭物質(zhì)分子鏈,改變物質(zhì)結(jié)構(gòu),將高分子污染物質(zhì),裂解、氧化成為低分子無(wú)害物質(zhì),如水和二氧化碳等;

6、高溫等離子凈化法:經(jīng)過(guò)壓縮、高壓聚能放電成為高溫等離子體。反應(yīng)器壓力增高,氣體體積急劇膨脹,在高溫、高電勢(shì)的雙重作用下,有機(jī)廢氣瞬間(萬(wàn)分之5秒)成為高溫等離子體,其中長(zhǎng)分子鏈裂解成單質(zhì)原子,有機(jī)物凈化率在90%左右。

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